电子束蒸发镀膜机

美国Temescal公司电子束蒸发镀膜系统 产品概述 美国Temescal公司成立于1952年，是真空电子束蒸镀技术的，提供先进的精密镀膜系统以及电子枪组件。Temescal在控制材料蒸气云分布方面拥有丰富的经验与独到的技术，典型材料如钛、铂、金、钯、银、镍、铝、铬、铜、钼、锡、二氧化硅、氧化铟锡，可获得优异的薄膜沉积均匀性和一致性。 Temescal总部在美国加州，拥有独立完善的设计、制造、销售和研发部门，其关键技术优势着重体现于成套沉积系统和电子枪组件。在高亮度LED、GaAs基无线通信芯片、光通讯器件、太阳能光伏、微机械（MEMS）和声表器件（SAW）等领域拥有很高的声誉和众多用户。 Temescal完美的工艺实现能力包括：高均匀性多层膜系工艺设计，先进的大功率电子枪及控制电源，无死角操作的双开门设计，洁净无油真空系统，多种精密工件架，全自动薄膜工艺控制系统，等等。 产品特点 1. 业内的真空锁式批量蒸镀系统 2. 整个电子束蒸发源可与腔室分离并转到设备框架之外 3. 高性能电子枪和控制器 4. 所有OEM组件均来自世界较好供应商 5. 丰富的剥离(Lift-off)工艺经验 6. 高均匀性和高材料利用率 7. 灵活的全自动控制系统 8. 设备性能完全满足24/7的严格的FAB生产要求 9. 的工艺研发和技术支持 技术参数 主要型号 1. FC4400 Temescal较大型标准系统，真空锁结构设计，适合150mm以上基片工艺的产能较大化要求 2. FC3800 Temescal大型标准系统，真空锁结构设计，适合各种能应用要求 3. FC/BCD2800 Temescal中型生产设备，真空锁结构可选，适合100mm~150mm晶圆工艺生产 4. FC/BJD2000 Temescal小型标准系统，尤其适合小规模生产和研发 主要应用