1700℃单温区双通道混气CVD系统

结构 采用双层壳体结构，并带有分冷，使得壳体表面的温度小于55°C。 保温材料采用氧化铝多晶纤维可以环保节能，减少热量的损失内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 加热元件 1800度硅钼棒 ( 8根) 较高工作温度 1700°C 较大升温速率 5°C/min 较大降温速率 5°C/min 加热区长度 455mm (18") 恒温区长度 150( /-1°C) 温控系统 一个精密温度控制器 PID方式控制，通过可控硅 SCR可设置30段升降温程序。 控温精度 /-1°C 炉管材质和尺寸 99.8% 氧化铝 Al2O3 陶瓷管ID: 72mm x OD: 80 mm x 1000 mm 密封法兰 两个不锈钢密封法兰，法兰上已经安装数字式真空显示计，和阀门通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr，泄漏率较大6 mtorr/min 输入电源 AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率：较大5KW 真空泵和配件 真空泵 一个双旋片式机械泵安装在移动架内通过此机械泵真空度可以达到 5x10^-2 torr 配件 标配的真空配件: 一对不锈钢 密封法兰和KF-25 真空泵接口，两个不锈钢针阀， 1/4"的软管接头一个1000mm长的KF-25 不锈钢波纹管和四个KF-25不锈钢快速卸装卡箍一个LED数字式真空显示计（测量范围： 0.1mtorr ~ 850 torr) 气体流量计 3个浮子流量计（度4%FS）安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体。 路气体流量范围为10-100 cc/min. 第二路气体流量范围为16-160 cc/min. 一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接 ，来监测混合气体的压力。 产品尺寸 外径80