種類 円柱型
耐スパッタ
タイプ
型式名 GH-2SE GH-3SE GH-5SE GH-8SE GH-F8SE
組み合わせアンプ GA-311
安定検出範囲
(注2) 0~0.6mm 0~0.8mm 0~1.0mm 0~2.0mm
较大動作距離
(注2) 1.2mm 1.8mm 2.4mm 4.0mm
標準検出物体 鉄5×5×t1mm 鉄10×10×t1mm
応差(ヒステリシス)
(注3) 0.07mm以下 0.05mm以下 0.04mm以下
繰り返し精度
(注3) 検出軸方向、検出軸に直角方向:1μm以下
耐
環
境
性 保護構造 IP50(IEC) IP67(IEC)、IP67G(注6)、防浸形(JIS)
使用周囲温度 -10~ 60℃、保存時:-20~ 70℃
使用周囲湿度 35~85%RH、保存時:35~85%RH
耐振動 耐久10~55Hz 複振幅1.5mm XYZ各方向2時間
耐衝撃 耐久500m/s2(約50G) XYZ各方向5回
温度特性(注4) ±7%以内 ±5%以内 ±4%以内