产品名:晶圆倒角机
产品型号:JYDJ-200
产品描述:
本倒角机采用数控的方式对晶圆的外周或者倒角端面进行高精度加工,具有自动对位功能,同时倒角机下面为一体钢结构。有效地抑制了在倒角加工时砂轮的振动,可避免晶圆的缺损,机台工作底座,龙门架采用采用花岗岩,稳定,永不变形,除去铸铁时效处理等产生残余应力的可能.
基本技术参数:
项目 参数
加工尺寸范围 2mm-8mm
主轴转数 10000rpm
电源电压 3箱AC380V
消耗电力 5KVA
X.y.z轴的运动定位精度 0.015/300mm
X.Y.Z.轴重复定位精度 0.01mm
工作行程 300*300*100
X.Y.Z轴的分辨率 0.001mm
外形尺寸 1000*1200*1500mm
重量 100kg