电子级清洁管控系统可以对各类液体的颗粒度、清洁度、污染物进行管理、控制、监测和分析;设备及零部件冲洗颗粒污染物的管控及测试,净溶液和电子级用水中不溶性微粒的管控及测试,电子化学品中颗粒物控制及中小试评价。
本方案涵盖控制系统、清洁系统、动力系统和监测系统等单元,利用动力系统单元将所需清洁物质通过清洁系统单元进行循环清洁处理,利用监控系统和控制系统,进行相关的调整并循环自净,终达到相关标准要求。
本系统采用英国普洛帝“光阻测量颗粒”和“精密微纳米颗粒管控”两项技术,可根据用户的要求,内置用户所需多种管控工艺,实现多粒径大小及数量的管控和检测。
经典第八代应用软件系统平台,集结初滤、精滤、终滤、清洗、检测、报警、校准和标定各模块可实现方便的全自动化设定和操作,内置判定标准、检测曲线、模块调试和声光报警等。
与业内的智能系统公司合作,选择其的智能监控技术型工控机,系统稳定,性能稳卓越。
具有标准串行RS232口或RS485口、LAN口、USB口等,可外接普洛帝智能工厂等自动化管理系统。
可按英标、美标、日标、中标等标准进行标定、校准。
提供校准物质(GBW),协助客户每年一次的校准计量工作。
提供行业的“OIL17服务星” 签约式服务,365天无忧使用。
执行标准:
GB/T 11446.1-2013 电子级水
GBT 11446.3-2013 电子级水测试方法通则
GB/T 11446.9 电子级水中微粒的仪器测试方法
SJ/T 11638-2016 电子化学品中颗粒的测试方法
GBT 29024.2-2016 粒度分析 单颗粒的光学测量方法 第2部分:液体颗粒计数器光散射法
ISO 21501-2-2007 Determination of particle size distribution - Single particle light interaction methods - Part 2: Light scattering liquid-borne particle counter
ISO 14644-9-2012 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
ISO 14644-10-2014 Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10. Classification of surface cleanliness by chemical concentration
JIS K0554-1995