真空电子束光学镀膜机:
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全自动光学镀膜设备可以实现参数录入、过程监控及数据存储等功能,可设定工艺流程并自动执行。可镀制层数较多的短波通、长波通、增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜、介质膜、高反膜、彩色反射膜等各种膜系,能够实现0-99层膜的膜系镀膜,也能满足如汽车反光玻璃、望远镜、眼镜片、光学镜头、冷光杯等产品的镀膜要求。配置不同的蒸发源、电子束和离子源及膜厚仪可镀多种膜系,对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可蒸镀,并可在玻璃表面超硬镀膜。
设备名称 光学镀膜机
真空室 SUS304,
工件架转速 10rpm to 30rpm(可变)
光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围:350nm to 1100nm
反射式或透射式
石英晶振膜厚计 XTC/3+6点式石英晶体传感器
蒸发源 电子枪
离子源 23cmRF离子源
抽气系统 机械泵,扩散泵或分子泵,罗茨泵等