小坂KOSAKA台阶仪 纳米级探针台阶仪ET200

小坂KOSAKA台阶仪   纳米级探针台阶仪ET200

东莞市长安欧准特

KOSAKA LAB ET 200
微细形状测定机（探针接触式台阶仪）
株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，也是日本家发表光学
杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大
部门。其中测定部门为代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。
设备特点：
KOSAKA ET 200 基于 Windows 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半
导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、
薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高
精度表面形貌分析应用。ET 200 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨
损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET 200 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色 CCD
原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。
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规格


一、测定工件：
1. 工件尺寸：φ160mm
2. 工件厚?0?3：50mm
3. 工件重量：2kg
二、检出器（pick up ）：
1. Z方向测定范围：Max. 600μm
2. Z方向分解能：0.1nm
3. 测定?0?7： 10uN ~500uN
4. 触针半径：2 μm 60 °
5. 驱动方式：直动式
6. 再现性：1σ= 1nm(全量程)、1um以下台阶重现性可达0.2nm以下

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三、X 轴 ( 基准轴) ：
1. 移动量(测长)：100mm
2. 移动的真直?0?3：0.2μm/100mm
3. 移动,测定速?0?3：0.005~20mm/s
4. 线性尺(linar scale)：分解能 0.1μm
四、Z 轴：
1. 移动量：50mm
2. 移动速度：max.2mm/S
3. 检出器自动停止机能
4. 位置决定分解能：0.1μm
五、工件台：
1. 工件台尺寸：φ160mm
2. 机械手动倾斜: ±2 ° ( ±1mm /150mm)
?0?7 、工件观察：max.135 倍(可选购其它高倍?0?7CCD)
七、床台：材质为花岗岩石
八、防振台( 选购)：?0?5地型或桌上型
九、电源：AC220V±10%,
50/60HZ, 300VA
十、本体外观尺寸及重量：
W500×D440×H610mm, 120kg
3含防震台

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