阿尔卡特检漏仪

ASM142氦质谱检漏仪 ASM142氦质谱检漏仪是法国ALCATEL-ADIXEN公司新推出的用来检测电子元器件的多功能氦质谱检漏仪器。 氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。 二 系统配置: ASM142氦质谱检漏仪主要包括以下器件: 序号 设备名称 序列号 数量 1 ASM142氦质谱检漏仪主机（包括一台机械泵、一台分子泵、一个质谱室、信号放大器等仪器必须的部件。） T0R00000B810 一套 2 ALCATEL 120号油（2升/桶） 068099 1桶 3 灯丝 FILAMENT 053146 1个 三 技术规格: 灵敏度： 3.0×10-11mbar.l/s 漏率显示范围： 2 ×10-11 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He) 达到检漏的时间（空盒时）： 小于30秒 发射电流显示： 0.2—2mA 检漏口对氦气的抽速： 1.3升/秒 启动时间： 小于5分钟 接口尺寸: DN 25 KF 外观尺寸： 510