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CMS 氢气氦气质量流量计

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¥电议 更新于:2013-08-06 15:08:00
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气体质量流量计 (用于氢气和氦气) CMS是一种高性气体质量流量计,使用了山武公司开发的微流量μF传感 单元,该传感器是一个感热式的质量流量传感器,可以测量极低流速的流体 流量,微流量传感器芯片和先进的流路设计技术的结合使该仪表测量精度高、 量程比大,且成本低。
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