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EDWARDS EXT75DX真空泵

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¥面议 更新于:2014-08-25 11:14:00
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技术数据 入口法兰 DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K 抽速 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100) N2 61 ls-1 (42 ls-1) (66 ls-1) He 57 ls-1 (49 ls-1) (59 ls-1) H2 53 ls-1 (48 ls-1) (54 ls-1) 压缩比 N2 >1 × 1011 He 1 x 106 H2 5 x 104 极限压力 (mbar) 带有 RV 前级泵 ISO/CF <5 x 10-9 / 5 x 10-10 带有隔膜前级泵 ISO/CF <5 x 10-8 / 5 x 10-9 出口法兰 DN16NW 推荐前级泵* RV5/nXDS5i 排气口 1/8 英寸 BSP 吹扫口 1/8 英寸 BSP 较大连续进气口压力(轻气体泵送)
EDWARDS EXT75DX真空泵
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