功能和优势
• 适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
• 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
• EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
o 安静的无振动运行。
o 牢靠且防腐蚀。
o 先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
• 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
• 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到最低。
• 轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
• 动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。