纳米硬度:
根据总施加载荷的大小:
宏观硬度(日本、美国和前苏联等定为10N以上,欧共体和国际机构则定为2N以上)
显微硬度(上限:10N或2N;下限:10mN左右)
纳米硬度(一般在700mN以下,有的生产商为了便于研究者模拟显微硬度,配有10N载荷附件。)
宏观硬度和显微硬度适用于较大尺寸的试样,仅能得到材料的塑性性质,随着现代材料表面工程(气相沉积、溅射、离子注入、高能束表面改性、热喷涂等)、微电子、集成微光机电系统、生物和医学材料的发展、试样本身活表面改性层厚度越来越小,人们在设计时不仅要了解材料的塑性性质,更需要掌握材料的弹性性质。传统的硬度测量已无法满足新材料研究的需要,纳米硬度技术应运而生。
纳米硬度计有两种压痕硬度和划痕硬度两种工作模式,它是一种检测材料微小体积内力学性能的先进测试仪器。由于压痕或划痕深度一般控制在微米甚至纳米尺度,该仪器是进行电子薄膜、各类涂层、材料表面及其该改性的力学性能检测的理想手段。它不需要将表层从基体上剥离,可以直接给出材料表层力学性质的空间分布,例如,能检测出焊点及其附近材料的力学性质。由于试样准备简单,即使材料达到可以用其他宏观方法检测,该方法仍然是一种可以选择的方法。