台式等离子清洗机为全铝外壳,表面经喷塑处理,外形简洁美观。清洗腔体为不锈钢,采用平板离子发生器。腔体精致,精度高,响应快,操控性和兼容性好,功能完善,可调参数多,完美契合科研机构和公司的初期实验和少量生产需要。
CY-2A台式等离子清洗机主要技术参数
整机规格:440mm(W)×500mm(D)×220mm(H)
腔体规格:Φ100mm×270mm
电极规格:内置平板电极
电极尺寸:70mm×240mm
载物方式:平放/悬挂均可
载物平台:单层80mm×120mm
电源系统:40KHz固态晶体管等离子发生源,
控制系统:手动控制
真空系统:旋片油泵,抽速:4L/S
底真空度:<5Pa,工作真空度5-100Pa内连续可调
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