激光调阻机相关知识

功能调系列调阻机 设备特点 •定制化：可针对客户产品不同的激光调阻应用要求，提供具有较高价值的产品解决方案。 •调阻精度高：独特的测控技术，测量控制系统精度的一致性好，提升产品附加值；成品率高，单位成本下降。 •软件可编程：可轻松实现客户的不同需求以及高自动化运行，也可作为专门的测试平台，适应性广。 •使用成本低：采用了先进的激光器，无耗材，使用成本较低，长期使用节约大量的费用。 •多功能：可实现陶瓷基片的激光划线、打标，减少设备的再投入。 •大理石基座，可有效减小工作台启动、停止和加速过程中产生的震动，同时保持机台温度的稳定性，性高。 主要技术参数 激光系统 型号规格 LT 激光波长 1064nm 激光功率 10W 典型光斑尺寸 35±5µm 对焦方式 自动，计算机程序控制 冷却方式 风冷 激光束定位系统 激光束运动范围 60mm X 60mm 运动分辨率 0.76µm 重复定位精度 ±5µm 分步重复运动系统 运动方式 精密闭环XY平台 运动范围 300mm*300mm 重复定位精度 ±10µm 较大运动速度（空载） 180mm/s 测量系统 电阻测量方式 四线制测量或二线制测量 电阻测量精度 中阻0.05% 电阻测量范围 0.1Ω-100MΩ 测量速度 25µs/次 零点及满程误差校正 自动校正 探针定义 可编程任意设定 探针板运动 自动，计算机程序控制