溅射镀膜用靶材

溅射镀膜用靶材 1、规格尺寸：长方形或园形（依客户的要求来进行加工），常是采用多片拼接而成，常用的规格包括：100X100X10mm、190X123X14mm, Ф14吋X0.5吋等。可为客户加工各种规格。. 2、产品度：99.999%。 3、型号为P型，掺杂剂：硼。产品的电阻率：常规型（经济型）：∠0.1Ω•cm, 特殊型：0.2--1Ω•cm. 4、精度要求：常规要求为±0.1mm. 5、表面光洁度：表面平整无明显的刀痕。光洁度≦0.7Ra 6、硅板完整性：用肉眼观查无明显的裂纹及缺陷。. 7、其他：硅板边缘及角上经过倒角，以减少碰损的机率。 8、可为客户进行硅板金属化处理: 先在硅板上镀上银厚膜，然后再上焊锡。 9、也可为客户进行包括铜背板的加工及焊接成整体的含铜板的硅靶。