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-135℃水汽捕集泵/真空镀膜冷冻机

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¥面议 更新于:2015-04-16 10:02:00
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-135℃水汽捕集泵/真空镀膜冷冻机----本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、品牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于地位,达到甚至超过国际先进水平。 适用于:物理、化学气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备; 光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。 应用原理: 在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。 深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。 主要的性能特点 1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%; 2、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,较低可到-150℃; 3、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温; 4、一台设备可设计两路负载输出; 5、压缩机,环保混合型制冷剂; 6、完善的自动化控制; 7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示; 8、当待机温度到达后有指示灯提示,可以开始制冷; 9、除霜温度自由设定; 10、具有水温温度、排气温度显示; 11、缺水、水温过高报警; 12、压缩机排气过高、压力过高保护; 13、电源断电、缺相报警; 14、可本地、远程控制自由转换; 15、R232计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。
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