晶圆片快速脱氧高温真空烘箱

晶圆片快速脱氧高温烘箱，10pa真空高温氮气烤箱订制 本产品适用于半导体、电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门作无氧化干燥、脱泡、固化、焊接、退火等高温处理。 型号 VOD-90 VOD-210 VOD-216 真空度 ≤10 pa 电源 AC380V 3φ 50HZ 功率（KW） 12 18 20 工作环境温度 性能 温度范围 RT+10℃～450℃ 升温时间 2 ℃/minute～4 ℃/minute 降温时间 2 ℃/minute～4 ℃/minute (400℃降至100℃,客户需配冷却塔) 结构 外壳 冷扎碳钢板，经防锈处理后静电喷塑，耐划伤 内胆 5mm厚，SUS304不锈钢，不锈钢内外表面抛光 保温材料 厚度150毫米硅酸保温棉，保温性能良好 箱门 真空密封紧迫;门缝自带高温保护.(高温状态下使用,为耗品,建议2-3个月更换一次) 真空泵 LEYBOLD真空泵.(客户可自行购真空泵,或者制定真空泵型号); 加热系统 四面辐射加热 电器系统 系统采用PLC控制,加热启停、冷却启停、真空泵启停、充氮气启停； 温控输出 SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器 安全保护 加热电流过流、系统短路保护、电压过压保护、真空泵过负载、 缺相保护、电炉超温报警等功能 内容积（L）） 91 215 252 内部尺寸（㎜） W450×D450×H450 W560×D640×H600 W700×D600×H600 外部尺寸（㎜） W800×D800×H1715 W910×D990×H1865 W1050×D950×H1865