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超低温冷凝排气机|气体捕集器|水汽捕集器

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¥面议 更新于:2018-03-06 15:50:00
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超低温冷凝排气机|气体捕集器|水汽捕集器------本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、品牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于地位,达到甚至超过国际先进水平。 适用于:物理、化学气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备; 光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。 应用原理: 在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。 深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。 主要的性能特点 1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%; 2、提高镀膜质量,防返油、不脱落、颜色; 3、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,较低可到-150℃; 4、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温; 5、触摸屏 PLC=完善的自动化控制; 6、一台设备可设计两路负载输出; 7、压缩机,环保混合型制冷剂; 8、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示; 9、除霜温度自由设定; 10、具有水温温度、排气温度显示; 11、缺水、水温过高报警; 12、压缩机排气过高、压力过高保护; 13、可本地、远程控制自由转换; 14、R232计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。 型 号:TH-135-20A 压缩机功率:8.5KW 工作温度:-120℃至-145℃ 抽气速度:101000L/s 制 冷 量:1800W 冷凝管面积:0.7m2 冷凝管长度:14m直径16mm 预冷时间:小于等于30min 降温时间:小于等于3min 除霜时间:小于等于3min 再降温时间:小于等于5min 适用油扩散泵径:小于等于1000mm 冷却方式:水冷(t≤30度) 型 号:TH-135-32A 压缩机功率:12.3KW 工作温度:-120℃至-145℃ 抽气速度:250000L/s 制 冷 量:3500W 冷凝管面积:2.0m2 冷凝管长度:40m直径16mm 预冷时间:小于等于40min 降温时间:小于等于5min 除霜时间:小于等于3min 再降温时间:小于等于6min 适用油扩散泵径:双路输出 冷却方式:水冷(t≤30度)
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