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靶材_AZO靶材_磁控溅射靶材_众诚达靶

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¥面议 更新于:2014-12-22 17:09:00
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深圳众诚达应用材料科技有限公司生产销售磁控溅射用的靶材,应用于磁控溅射技术领域,在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气),磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电子,靶上加有一定的负高压,从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大,在阴极附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面,以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。深圳众诚达应用材料科技有限公司生产销售的AZO靶材,AZO靶材属于ZnO系薄膜材料,具有优良的光学、电学性能。主要用于制备AZO薄膜,AZO薄膜是一种透明导电膜,具有与ITO薄膜相比拟的光学与电学特性,并具有制备工艺简单、价格低、无毒与稳定性好等特点,在一种良好的导电薄膜材料。目前AZO靶材,广泛应用于薄膜太阳能电池、建筑玻璃、导电玻璃、电磁屏蔽、热阻挡层等大面积镀膜玻璃领域。
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