北京创世杰公司提供美国Trion公司的Orion III系列等离子增强化学气相沉积(PECVD)系统、Phantom III系列反应离子刻蚀机(RIE,DRIE,ICP等)和Apollo型等离子去胶机。美国Trion公司为化合物半导体、MEMS(微机电系统)、光电器件以及其他半导体市场提供多种等离子工艺设备。美国TRION公司提供的Orion III系列等离子增强化学气相沉积(PECVD)系统、Phantom III系列反应离子刻蚀机(RIE,DRIE,ICP等)和Apollo型等离子去胶机在业内以系统占地面积小,成本合理而著称,且设备及工艺性和稳定性久经考验。美国TRION公司提供的Orion III系列等离子增强化学气相沉积(PECVD)系统、Phantom III系列反应离子刻蚀机(RIE,DRIE,ICP等)和Apollo型等离子去胶机系列产品既包含成套的批量生产设备,也有用于科研开发的系统。