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表面缺陷检测仪

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¥面议 更新于:2012-08-23 09:37:00
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德国NanoPhotonics公司表面缺陷检测系统 产品概述 德国NanoPhotonics公司成立于1997年,其设备主要用于半导体生产中裸芯片表面,边缘,背面的沉积材料及基片的缺陷探测,可用于基板如检测掩模板(光罩)上的颗粒、划痕、缺陷、微米级粗糙度等。 产品特点 REFLEX TT桌上型手动缺陷检测系统 1. 65nm微粒灵敏度 2. 激光暗区域测量技术 3. 一级洁净环境 4. 可选晶圆工作台 5. 集成迷你PC和平板显示器 6. 离线分析 7. 工业标准 8. 自动化软件 技术参数 适用不同底材和尺寸 -光罩基板尺寸:2.5¨×2.5¨—8¨×8“ -晶圆尺寸:2¨—12¨ 应用材料 硅片、玻璃、复合半导体材料、透明薄膜、金属薄膜、单晶硅和多晶硅等
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