真空舱体 W400 mm × H600 mm × D625 mm (150 升) * 分层(多到16层) 电极-托盘 * 不锈钢舱体 * 40KHz 射频发生器
* 针孔电极 * 双气路,针阀 * 全自动控制 * 功率连续可调 0-2500W * 自动阻抗匹配 * 电磁阀保护,回流油雾不能进入舱体 * 规格:W1000 mm×H2200 mm× D1000 mm * 电源:AC 380V/50Hz
选装件
* 13.56 MHz 射频发生器 * 2.45 GHz 射频发生器 * 旋转圆筒舱体(适用于处理颗粒状样品)
详情参见配件选装指南