星弧涂层科技的PVD涂层设备

星弧涂层科技有限公司一直站在国际PVD技术的前沿，拥有10多年的真空设备生产、服务和研发经验，一直致力于PVD技术的工业化应用，并取得了卓越的成果。公司积累了丰富的PVD设备设计和制造经验,并可根据客户的具体要求设计制造高品质的真空镀膜设备。 Jupiter系列PVD涂层设备：1）真空室有效尺寸- ø1500x1100mm 2）抽气系统-机械泵+罗茨泵+扩散泵 3）靶-5个：磁控溅射-2个；磁控阴极弧-2个；离子源-1个 4）工件转架-10~12个带自转行星转架，每个工件均可自转 5）控制系统- PLC用于工艺过程控制；PC用于控制界面 6）涂层- TiN，TiAlN， CrN， TiAlCrN等 7）主要应用领域-一般切削刀具，成型及冲压模具，耐磨零件。 Diamant系列PVD/IAPVD涂层设备：1）真空室有效尺寸- ø1300x1100mm 2）抽气系统-机械泵+罗茨泵+扩散泵 3）靶-6个：磁控溅射-2个；IAPVD源-4个 4）工件转架-12个带自转行星转架，每个工件均可自转 5）控制系统- PLC用于工艺过程控制；PC用于控制界面 6）涂层- TiN，TiAlN，DLC等 7）主要应用领域-耐磨零件和自润滑零件，高档工模具，特殊切削刀具。 Seeyu系列PVD涂层设备：1）真空室有效尺寸- ø1200x900mm 2）抽气系统-机械泵+罗茨泵+分子泵 3）靶-6个：磁控溅射-1个；过滤阴极弧-3个；离子源-2个 4）工件转架-12个带自转行星转架，每个工件均可自转 5）控制系统- PLC用于工艺过程控制；PC用于控制界面 6）涂层- ta-C, DLC， DLC-Al等 7）主要应用领域-高档工模具，耐磨零件和自润滑零件，特殊切削刀具。