清洗机 Cleaning system

1.外观简洁大方,整机采用PLC控制，易于操作，性能稳定； 2.功能：通过喷洒出微小且高压力的净水将切割后的晶圆清洗干净。 3.通过更改参数自适应3、4、5、6、8英寸的晶圆； 4.通过更换台盘能适应标准6”和8”框架（Frame）； 5.出水压力可调，范围：2.0~11.8MPa（20 ~ 120 kgf/cm2）； 6.主电机采用AC变频电机，摆臂电机采用伺服电机。 7.可分开调节喷水和喷气时主轴旋转速度，范围：0~3000 rpm； 8. 采用彩色触摸屏作为人机操作界面； 9.喷头喷洒范围可自动根据设定的晶圆大小调节，无需人工干预； 10.具有气体压力和出水压力调节功能； 11.具有氮气输入接口； 12.具有“紧急停止”功能； 13.具有系统运行状态监控和设备故障报警功能； 14.适应晶圆尺寸：3、4、5、6、8英寸； 15.适应框架（Frame）：标准6、8英寸（可根据终用户样品设计台盘以适应非标准的Frame）； 16.电器部分采用SMC、Orientalmotor, Misumi、西门子、三菱等产品，系统； 可联系魏先生