堀场汇博隆S49 32气体质量流量计

　　　S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)特点： 　　　☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。 　　　☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。 　　　☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定。 　　　☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。 　　　☆配合MT-60 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行计量。 　　　S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)主要应用领域： 　　　半导体制造行业的气体流量控制； 　　　分析仪器设备的气体计量与控制； 　　　各种形式的真空镀膜设备； 　　　环境检测与分析设备； 　　　化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制； 　　　特种材料表面处理装置与燃烧控制； 　　　混气配气系统和泄露探测系统等。 主要技术指标 　　　质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。 　　　质量流量单位为：mL/min（毫升/分钟）；(SCCM行业标准) 　　　　　　　　　　　　L/min （升/分钟）。 (SLM行业标准) 　　　标准状态为：温度----273.15K（0℃）； 　　　 气压----101325Pa(760mmHg) 　　　F.S(Full Scale):表示满量程值 表1 S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标 编号 项目 S49 32/MT 1 流量规格 （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止状态 常闭 4 准确度 ±1.5%F.S 5 线性 ±1.5%F.S 6 重复精度 ±0.2%F.S 7 响应时间 ≤8秒（T95） 8 工作压差范围 （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min) 9 耐压 3MPa; 10MPa 10 工作环境温度 （5～45）℃ 11 材料 不锈钢316L 12 标准密封材料 Viton®， EPDM， 或其他由用户 13 漏率 1×10-8Pa.m3/s 14 接头 Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户 15 输入输出信号 （0～＋5.00）V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA) 16 供电电源 ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） 17 外形尺寸mm 130（宽）×102（高）×28（厚） 18 重量kg 0．8