气体质量流量控制器-S49 33/MT

　　S49系列质量流量控制器(流量计)特点： 　　*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON®、聚四氟乙烯等 　　*适用于各种腐蚀性气体 　　*气体流量不因温度、压力的变化而失准 　　*高精度 　　*重复性好 　　*响应速度快、软启动、稳定 　　*低压降 　　*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。 　　*操作使用方便，可任意位置安装 　　*便于与计算机连接实现自动控制。 　　S49系列质量流量控制器(流量计)主要应用领域： 　　*半导体制造行业的气体流量控制 　　*分析仪器设备的气体计量与控制 　　*各种形式的真空镀膜设备 　　*环境检测与分析设备 　　*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制 　　*特种材料表面处理装置与燃烧控制 　　*混气配气系统和泄漏探测系统等 主要技术指标 　　质量流量控制器(流量计)出厂通常用氮气（N2）标定。 　　质量流量的单位规定为: 标准状态 mL/min (毫升/分钟) (SCCM行业标准) 　　　　　　　　　　　　　　　标准状态L/min （升/分钟） (SLM行业标准) 　　标准状态规定为:温度 --- 0℃ 　　　　　　　　　　　气压 — 101325 Pa 　　　　　　　　　　　F.S (Full Scale):表示满量程值 　　 　　 　　 　　 表1 S49 33M/MT型质量流量控制器(流量计)技术指标 编号 项目 S49 33/MT 1 流量规格 (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min (15,20,30) L/min 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止位置 常闭 4 准确度 ± 1.0% F.S ± 2.0% F.S 5 线性 ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S 6 重复精度 ±0.2 %F.S 7 响应时间 ≤8 s（T95） 8 工作压差范围 (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa 9 耐压 3 MPa ﹑ 10 MPa 10 工作环境温度 5℃ ～ 45℃ 11 材料 不锈钢316L 12 标准密封材料 Viton®﹑EPDM, 或其他 13 漏率 1×10-8 Pa.m3/s 14 接头 Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其它 15 输入输出信号 0 V ～ 5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) 16 电源 15 V 50 mA -15V 200 mA 17 外形尺寸 mm 　　　134×134×38 18 重量 kg 1.2 　　注意： S49系列质量流量控制器(流量计)分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。