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Aerotech 气浮龙门XY台

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¥面议 更新于:2015-11-09 14:40:00
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ABL9000气浮平台 1世上较高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合 2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承) 3行程达1.2米X1.2米 4Y轴双直线电机驱动 5直线编码器或激光干涉仪反馈 6主动控制偏转 行程≤1200mm 精度±0.50um 重复定位精度±0.10um 直线度±0.50um 平面度±0.50um
Aerotech 气浮龙门XY台
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