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Aerotech 台

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¥面议 更新于:2015-11-09 14:40:00
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ABL2000气浮平台 1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计 2运动超平滑,速度稳定性突出 3直线编码器或激光干涉仪反馈 4行程达1.2米 5全预加负载气浮导轨(空气轴承) 6全部非接触设计 行程≤1200mm 精度±0.50um 重复定位精度±0.20um 直线度±0.25um 平面度±0.25um
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