供应脉冲磁控溅射电源 高频电镀电源

单极脉冲磁控溅射电源适用于金属、合金及石墨等靶材镀制金属膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。其优点是能明显改善靶面电荷积累现象，减少溅射靶表面的打火次数，提高膜层质量。输出波形为单极脉冲。电源具有平均电流稳流功能。 品名 脉冲磁控电源 型号 BP系列 输入 相数 三相 N 电压 380V 频率 50Hz 输入方式 4线（含零线） 输出 波形 脉冲 功率 10KW~100KW（可定制） 电压 0—1200V（可定制） 稳定度 ≤1% 电流 0—100A（可定制） 稳定度 ≤1% 纹波及杂讯 ≤2% 效率 ≥90% 控制 控制方式 标准方式：恒压/高低压切换 可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换 控制接口 标准方式：面板手动 可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus) 保护 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 冷却 风冷或水冷 外型 防护等级 IP21 单元尺寸 (W*D*H) 箱体：440(W)X260(H)X580(D) （20KW风冷） 面板：482(W)X280(H) 重量 30KG（20KW） 备注