供应直流偏压电源

偏压电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等。主要作用包括：被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火，明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。该电源输出波形为直流。 品名 偏压电源 型号 BD系列 输入 相数 三相+N 电压 380V 频率 50Hz 输入方式 4线（含零线） 输出 波形 脉冲 功率 10KW~100KW（可定制） 电压 0—1200V（可定制） 稳定度 ≤1% 电流 0—100A（可定制） 稳定度 ≤1% 纹波及杂讯 ≤2% 效率 ≥90% 控制 控制方式 标准方式：恒压/高低压切换 可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换 控制接口 标准方式：面板手动 可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus) 保护 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 冷却 风冷或水冷 外型 防护等级 IP21 单元尺寸 (W*D*H) 箱体：440(W)X260(H)X580(D) （20KW风冷） 面板：482(W)X280(H) 重量 30KG（20KW） 备注