扩散炉炉体 高温炉体 加热炉膛 青岛晨立电子有限公司

产品描述 

 一、炉体材料: 

★  炉丝：Φ8～Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。 

★  绝缘子:采用99瓷制作，碳化硅管用高脚，石英管用矮脚。 

★  保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。 

★  外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。 

★  热偶座：进口弹簧卡状固定座。 

★  把口环：陶瓷纤维把口环，既保温，又有一定机械强度。 

 二、炉体参数: 

★  工作温度：   ≤1300℃ 

★  恒温区长度： 500mm-1000mm 

★  炉体内径：   Φ90～Φ360 mm（3～12英寸） 

★  规范使用：   寿命可达20个月以上（1200℃）

★  替代进口：   全方位配套 

三、应用： 青岛晨立电子有限公司生产的扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、THERMCO，荷兰ASM，英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，可应用于处理3～12英寸硅片的扩散炉/太阳能电池片扩散炉。